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検索対象: 半導体の話―物性と応用―

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半導体の話―物性と応用―


た し か に 、 ト ラ ン ジ ス タ を 、 こ の わ ず か の 年 月 に も の に し 、 生 産 量 で も 米 国 に 肩 を 並 べ 、 世 界 的 に 有 名 に な 0 た 事 は 、 日 本 人 の 努 力 や 能 力 を 示 す 証 拠 に な り 得 る だ ろ う 。 た だ 、 技 術 の 面 か ら み る と 、 ト ラ ン ジ ス タ の 誕 生 以 来 、 一 歩 先 ん じ て い た の は 殆 ど 常 に 米 国 で あ 0 た と い う 冷 い 事 実 が あ る 。 私 達 は そ れ を 理 解 し 、 非 常 に 早 く そ れ を 追 試 し て 行 く 事 は で き た 。 そ こ に す ば ら し い 能 力 は 発 揮 さ れ た け れ ど 、 新 型 の ト ラ ン ジ ス タ は 殆 ど 常 に 海 の 向 う で 開 発 さ れ て 来 た 。 技 術 雑 誌 や 学 術 論 文 を 読 む 度 に 、 う ん ざ り す る 程 新 し い 事 が 次 々 と 出 て く る と い う 時 期 が か な り 続 い た の で あ る 。 こ の 事 は 、 私 達 が 身 に し み て 感 じ て 来 た 厳 し い 現 実 で あ る 。 当 時 の 日 本 の 工 業 が 、 追 試 と 誤 り の な い 技 術 の 移 植 と を 技 術 者 達 に 要 求 し て い た と し て も 、 な お 技 術 者 と い う も の は 、 自 分 の 分 身 と し て の オ リ ジ ナ リ テ ィ 1 を 持 ち た い も の な の で あ る 。 ト ラ ン ジ ス タ 工 業 を 、 急 い で 米 国 の 後 を 追 い な が ら 建 設 し て 行 く 仕 事 の 中 に 、 技 術 者 達 は 何 か の 形 で オ リ ジ ナ リ テ ィ ー を 寄 与 し て 行 き た い と 努 力 し て 来 た 。 「 後 を 追 う 仕 事 の 中 に だ 0 て オ リ ジ ナ リ テ ィ 1 は あ る 」 と い う 意 見 を き く 事 も あ る 。 ま さ に 、 そ の 通 り で あ る 。 し か し 、 そ れ で も な お 、 戦 後 日 本 の エ 業 は 、 変 則 の 形 で あ 0 た 。 決 し て 技 術 者 が 自 分 の 独 創 と 能 力 で 勝 負 し な が ら 世 を 渡 る 様 な オ ー ソ ド ッ ク ス な 工 業 社 会 で は な か っ た と 私 達 は 考 え る 。 戦 後 、 約 二 十 年 は 、 こ れ で 満 足 す べ き だ 0 た か も 知 れ な い 。 歪 み を い ろ い ろ と 残 し な が ら も こ の 急 速 な 工 業 技 術 の レ ベ ル ・ ア 〉 。 フ を 持 っ た 事 は 偉 大 か も 知 れ な い 。 し か し 、 こ れ か ら も 同 252

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方 の 学 位 論 文 は 何 で す か と き か れ て 「 『 半 導 体 の 表 面 現 象 』 と い う 題 で し た 」 と 答 え た ら 「 そ れ は 、 何 か 、 ど ろ ど ろ し た も の の 事 で す か 」 と き き 返 さ れ た 事 が あ っ た 。 こ れ は 、 私 達 、 半 導 体 と 長 い 間 つ き 合 っ て 来 た 者 に と っ て 誠 に 残 念 な 事 で あ る 。 か げ 第 一 に 、 半 導 体 こ そ 、 今 日 の エ レ ク ト ロ ニ ク ス に 、 色 と り ど り の 花 を 咲 か せ て 来 た 蔭 の 素 材 で あ り 、 半 導 体 を 取 り 扱 う 仕 事 か ら 、 今 日 の 技 術 革 新 の 芽 も ふ き 出 た の で あ る 。 第 二 に 、 ト ラ ン ジ ス タ を 作 る ゲ ル マ ニ ウ ム や シ リ コ ン だ け が 半 導 体 で は な い 。 百 種 類 に も 上 る い ろ い ろ の 半 導 体 が あ る 。 そ し て 、 そ れ ぞ れ が 、 独 得 の 物 理 的 性 質 を 具 え て い る 。 だ か ら 、 い わ ば 、 そ れ は 可 能 性 の 宝 庫 で あ っ た 。 第 三 に 、 そ の 可 能 性 が 現 実 の す が た を と っ て 、 さ ま ざ ま の 電 子 装 置 に 作 り あ げ ら れ て 来 る と 、 そ れ は 技 術 の 世 界 、 経 営 の 世 界 、 文 化 の 世 界 と 、 い ろ い ろ な 形 で 強 い 影 響 を あ ら わ し 始 め る 。 半 導 体 は 、 今 日 の 科 学 技 術 史 を 典 型 的 に つ づ っ て お り 、 ひ ろ く 文 化 史 と も 強 く か ら み 合 っ て い る 。 ト ラ ン ジ ス タ の 出 現 が 、 字 宙 通 信 を ど れ 程 画 期 的 に 前 進 さ せ た か は か り 知 れ な い し 、 小 型 で 高 い 性 能 の 電 子 計 算 機 が ト ラ ン ジ ス タ の お か げ で 非 常 に 早 く 実 用 化 し 、 こ の た め に 、 経 営 、 交 通 、 警 察 活 動 な ど が 予 想 し な か っ た 様 な 変 貌 を と げ つ つ あ る 事 は 既 に か な り 明 ら か で あ る 。 の ぼ

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当 6 む す び 「 米 国 が や っ た 。 ソ 連 が や っ た 。 で は 次 は 日 本 で も や ら ね ば な ら な い 」 と い う の は 、 こ れ か ら は 損 な 考 え 方 で は な い だ ろ う か ? 技 術 の ポ テ ン シ ア ル が つ け ば っ く ト 式 な や り 方 に 陥 り 易 い 。 科 学 程 、 一 ふ ん ば り が で き そ う な 気 が す る た め に 、 こ う い う デ 。 ( や 技 術 に 関 し て は 大 ま か な 大 国 意 識 が 危 険 で あ る 理 由 は 此 処 に あ る 。 も う 筆 を 置 く べ き 時 が 来 た 様 だ 。 丑 日 、 シ ョ ッ ク レ 1 に 「 貴 方 の 経 験 を 通 し て 忠 告 を く れ る と し た ら 、 ど ん な 事 で す か ? 」 と 尋 ね た ら け ん め い 1 ド ) と い う だ け だ ね 」 「 一 生 懸 命 や り な さ い ( ウ ワ 1 ク ・ と い っ て 微 笑 し て い た 。 私 も 専 門 の 仕 事 に か え っ て 、 計 画 し て い た 実 験 に 没 頭 し よ う と 思 う 。 そ れ が 一 番 私 に し つ く り と 合 っ た 仕 事 で あ る 事 だ け は 間 違 い な い か ら で あ る 。 ノ 25 /

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こ れ は 『 再 現 性 』 が 悪 い と い う 事 で あ る 。 あ る い は 『 設 計 可 能 性 』 に 欠 け て い る と 一 = 〔 う こ と も で き る 。 再 現 性 や 、 設 計 可 能 性 は 、 近 代 工 業 を 支 え る 技 術 と し て 最 も 要 求 さ れ る も の で あ る 。 だ か ら 、 点 接 触 ト ラ ン ジ ス タ は 、 製 作 工 程 の 中 に 近 代 技 術 と し て の 不 適 格 性 が ひ そ ん で い る と い わ ね ば な ら な か っ た 。 軍 の 技 術 者 や 会 社 の 製 造 部 の 人 達 が 、 ト ラ ン ジ ス タ の 性 能 に 一 驚 を 喫 し な が ら 、 な お 真 剣 に 工 業 の 対 象 と し て 考 え る の に は 二 の 足 を 踏 ん だ 理 由 は 此 処 に あ っ た の で あ る 。 こ う い う 、 悪 く い え ば 中 途 半 端 な 状 態 の 中 で 、 技 術 者 達 は 何 と か ト ラ ン ジ ス タ を 『 本 も の 』 に ま で 仕 上 げ よ う と 努 力 し た 。 こ の 段 階 で は 、 軍 も そ れ 程 積 極 的 に な っ て い な い し 、 世 間 の 眼 も 批 評 的 な 見 方 が 多 く 、 た だ 進 歩 の 状 態 を 見 守 っ て い た と い っ た 方 が 良 い 。 咄 例 え ば 、 当 時 ト ラ ン ジ ス タ は 『 = = 1 ズ ウ ィ ー ク 』 に 紹 介 さ れ た り し て 世 間 の 眼 を 集 め た け の れ ど も 、 ま だ 子 供 の 玩 具 と い う 批 評 を 受 け た り 、 あ る い は 、 『 ひ ど く 製 造 の 時 の 歩 止 り の 悪 い ク も の 」 と い う 風 評 が 人 々 の 間 に 噂 と し て ひ ろ ま っ た も の で あ る 。 し か し 、 点 接 触 ト ラ ン ジ ス タ を 、 も の に し よ う と す る 技 術 者 達 の 努 力 は 決 し て 無 駄 で は な か ク っ た 。 結 果 か ら み れ ば 、 た し か に 点 接 触 ト ラ ン ジ ス タ そ の も の を 本 も の に 仕 上 げ て 、 エ レ ク ト = ロ = ク ス に 革 新 を ひ き 起 こ す 事 は で き な か っ た が 、 新 し い ト ラ ン ジ ス タ が 生 ま れ 、 そ れ に よ 0 近 て 革 新 を 起 こ す 下 地 を 着 々 を 準 備 す る 結 果 に な 0 て い た か ら で あ る 。 こ れ が 今 日 で あ っ た ら 、 点 接 触 ト ラ ン ジ ス タ の 誕 生 に つ づ い て 、 そ の 後 の 新 型 ト ラ ン ジ ス タ の 発 明 と 開 発 と は 殆 ど 踵 を 接 し て 行 な わ れ た ろ う が 、 当 時 の 技 術 水 準 を も っ て し て は 、 事 は な

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め に 、 ア イ デ ア に あ ふ れ る 野 心 家 を 東 縛 す る の も 能 の な い 話 で あ る 。 そ う い う 環 境 の 中 で 、 技 術 者 に 体 質 改 善 の 要 求 が 少 し ず つ 生 ま れ 、 一 方 、 基 礎 研 究 者 の 方 も 同 様 の 試 錬 を う け て 来 た 。 シ ョ ッ ク レ ー は 教 育 に 一 家 言 の あ る 人 で 、 彼 の 。 ハ ロ ・ ア ル ト に あ る ア イ ・ テ ィ ー ・ テ ィ ー ・ セ ミ コ ン ダ ク タ ー ズ 研 究 所 ( 現 在 は 『 — ・ ・ e 半 導 体 』 と な っ た 。 ) の 研 究 員 達 に は 、 か な り ア カ デ ミ ッ ク な 仕 事 と 、 極 め て 現 実 的 な 仕 事 と を 、 一 人 に そ れ ぞ れ 一 つ ず つ 持 た せ 、 時 代 の 感 覚 に 沿 い な が ら そ の 中 に あ る 物 理 学 を 見 失 わ せ ま い と し て い た 。 こ の 十 年 来 、 た し か に 電 気 工 学 者 は 、 半 導 体 の 物 理 学 を 学 ば せ ら れ た 。 そ し て 、 基 礎 的 な 研 究 者 は 、 進 ん で 現 実 の 焔 の 中 か ら 間 題 を 拾 い あ げ よ う と い う 傾 向 を 強 く し た 。 米 国 で の こ の 動 き は 当 然 日 本 で も 見 ら れ て 来 た 。 け れ ど 、 社 会 環 境 も 、 教 育 も 、 い ろ い ろ の 点 で 相 当 に 違 っ て 化 い る 日 本 で は 、 随 分 多 く の 困 難 が っ き ま と っ た 。 原 理 的 な 研 究 を す る 人 が 、 応 用 の 先 端 を 行 く か な り 少 な く な っ た け れ ど 、 そ れ で も 、 同 仕 事 に 従 事 し て い る 技 術 者 を 軽 蔑 す る 様 な 感 情 は 、 の 代 じ 様 な 課 題 を 、 応 用 の 面 と 基 礎 の 面 と か ら 共 同 し て 一 刻 も 早 く 解 明 し て し ま わ ね ば な ら な い ス 時 に 、 そ れ ぞ れ 自 分 だ け の 言 葉 で 語 り 、 自 分 の 発 想 法 を 固 執 し て 、 壁 に あ け た 穴 を 通 し て 早 く ク 手 を 握 り あ お う と 仲 々 し な い 風 潮 は 、 ま だ 随 分 強 く 残 っ て い る 様 に 思 わ れ る 。 「 新 し い エ ン ジ ニ ア リ ン グ の 感 覚 』 レ を 、 大 学 を 出 る 迄 に 身 に つ け る と い う 事 が 、 今 我 々 の 社 会 で 求 め ら れ て い る 最 も 大 き な 課 題 の 一 つ で あ ろ う 。 181

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4 一 工 学 か ら 物 理 学 へ 先 に も 一 寸 触 れ た 様 に 、 ト ラ ン ジ ス タ の 誕 生 前 後 か ら 、 工 学 と 物 理 学 と は 非 常 に 親 密 な 間 柄 に な っ た 。 そ れ は 、 た だ 『 助 け を 借 り る 』 と か 『 成 果 を 利 用 す る 』 と い っ た 消 極 的 な も の で な く 、 お 互 い の 進 歩 が な け れ ば 、 自 分 の 方 も そ れ 以 上 発 展 し な い と い う 様 な 極 め て 本 質 的 な も の で あ っ た 。 こ う い う こ と に つ い て 、 特 に 工 学 の 方 か ら 物 理 学 の 方 に 与 え た 重 要 な 成 果 と 、 そ の と り 入 れ 方 の い き さ つ な ど を こ こ で は 二 、 三 の 例 を も と に し て 話 を 進 め て み よ う 。 物 理 学 か ら 工 学 へ と い う 方 に つ い て は 、 後 の 章 で く り 返 し 述 べ る 事 に な る と 思 う 。 結 品 を き れ い に す る 技 術 半 導 体 の 結 品 を 、 技 術 者 が 積 極 的 に 処 理 し よ う と し は じ め た の は 、 一 九 四 〇 年 を 過 ぎ て か ら で 、 特 に 一 九 四 五 年 頃 か ら こ の 様 な 仕 事 は 急 に 多 く な っ た 。 こ れ に は 次 の よ う な 理 由 が あ る 。 マ イ ク ロ 波 を 使 っ て 船 や 飛 行 機 の 位 置 を し ら べ る 技 術 は 当 時 工 学 上 か ら も 、 軍 事 上 か ら も 非 常 に 急 を 要 す る 仕 事 に な っ て 来 た 。 マ イ ク ロ 波 を あ る 方 向 に 発 射 し て 、 そ れ が 対 象 物 で 反 射 し て 帰 っ て く る の を 測 定 し 、 こ れ に 要 す る 時 間 / を 求 め れ ば 、 距 離 は 7

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背 負 っ て 流 れ 込 ん だ 正 孔 が 、 ・ 〈 ー ス 領 域 を 走 り 抜 け る 時 、 こ の 様 な 電 場 が そ こ に あ れ ば 、 正 孔 は コ レ ク タ に 向 っ て そ れ だ け 一 層 早 く 走 る こ と が で き る 。 つ ま り 、 正 孔 が べ ー ス 領 域 を 走 り 抜 け る に 要 す る 時 間 が 短 く な る か ら 、 ト ラ ン ジ ス タ の 高 周 波 で の は た ら き は 改 善 さ れ る 筈 で あ る 。 ク ロ ー マ ー の ド リ フ ト ・ ト ラ ン ジ ス タ は こ う し て 生 ま れ 、 成 功 を 収 め た 。 こ の 場 合 、 奇 妙 な こ と も 、 珍 な 発 見 も な い 。 第 二 種 の 仕 事 は こ れ で よ い わ け で あ る 。 こ れ ら の 歴 史 的 な 事 象 が 教 え る こ と は 、 こ の ど ち ら の 種 類 の 仕 事 も 、 そ れ ぞ れ が 大 き な 価 値 を も ち 、 そ の 時 の 技 術 的 要 求 に 答 え る 役 割 を 果 し て 来 て い る と い う 事 で あ る 。 そ し て 、 そ れ ぞ れ の 仕 事 の 特 色 を 通 し て 、 こ れ に 関 与 し て い る 人 々 の カ の 出 し 方 を 特 徴 づ け て い る 。 つ ま り 、 今 後 、 何 か 良 い 仕 事 を 生 み 出 そ う と す る 人 は 、 。 と ん な と こ ろ に 力 を 注 が ね は な ら な い か と い う 事 に つ い て 、 仲 々 教 訓 的 で あ る 。 偶 然 が 支 配 す る 型 の 仕 事 を や る に は 、 優 秀 な 指 導 者 が 、 陰 で う ま く 糸 を 操 る と か 、 出 て 来 た も の を 育 て る 時 に 、 最 も 有 効 な 手 段 を 講 し る と か せ ね ば な ら な い 。 そ の 上 で は じ め て 個 人 の 、 偶 然 の 着 想 が 早 め ら れ 、 効 果 的 に な っ て く る 。 計 画 的 に 進 め る 方 の 仕 事 で は 、 現 実 の 要 求 が 何 か と い う 事 を し 0 か り 把 握 し て い る か ど う か で 勝 負 が 決 0 て し ま う 。 こ う い う 仕 事 は 、 棚 か ら 落 ち る ぼ た 餅 を 、 ロ を あ け て 待 0 て い る 様 な 研 究 か ら は 芽 生 え て 来 な い 。 だ か ら 、 基 礎 的 な 研 究 を 尊 重 す る と い 「 て 、 達 磨 大 師 の 様 に 壁 に 向 っ て 静 坐 す る 様 な 研 究 環 境 を 作 る だ け で は よ く な い し 、 か と い っ て 、 ほ ん の 目 先 の 改 良 の た

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時 代 の 要 求 技 術 の 歴 史 に は 偶 然 の き 0 か け か ら 思 い も 設 け な か 0 た 様 な 進 歩 が 起 こ る 事 が あ る 。 そ の 偶 然 の た め に 新 し い 方 向 に 走 り 出 す 例 も あ る 。 け れ ど 、 も う 一 方 に 、 そ の 時 代 の 技 術 が 課 せ ら れ て い る 要 求 の 様 な も の が あ る 。 そ の 時 代 、 そ の 社 会 が 技 術 に よ せ る 大 き な 関 心 事 で あ る 。 こ れ は い ろ い ろ な 要 素 で 決 0 て く る 。 例 え ば 、 現 代 で い え ば 公 害 を 解 決 す る こ と で あ る と か 、 交 通 の 危 険 を 減 ら す と い 0 た 要 求 で あ る 。 そ の 社 会 が 、 い ろ い ろ な と こ ろ で 直 面 し て い る 代 課 題 が 、 組 み 合 わ さ り 、 重 な り 合 0 て 、 陰 に 陽 に 技 術 開 発 を 方 向 づ け る わ け で あ る 。 ス 先 進 国 と よ ば れ る 社 会 程 、 こ の 課 題 が は 0 き り と 技 術 の 分 野 に ひ び い て 来 て 、 そ の 仕 事 を 刺 = 戟 し 、 ま た 方 向 づ け る 。 反 対 に 後 進 性 が 強 く て 、 科 学 技 術 の 産 物 が 、 物 の 形 で 先 ず 輸 入 さ れ 、 そ こ か ら こ れ を 追 試 し 、 工 業 化 し て 行 く と い う 社 会 で は 、 順 序 が 逆 に な る の で 、 技 術 者 〈 の こ ク レ う い う 課 題 は い つ も ぼ や け て い る か 、 あ る い は 抽 象 的 な 説 教 調 な も の に 終 始 し や す い 。 接 合 ト ラ ン ジ ス タ が 生 ま れ 、 工 業 化 さ れ は じ め る 頃 、 米 国 に は 明 ら か な 時 代 の 要 求 が あ 0 た 。 当 然 、 こ れ は 軍 の 要 求 と 密 接 に つ な が 0 て い る が 、 軍 だ け の 要 求 と い え な い 、 近 代 社 会 の 点 接 触 ト ラ ン ジ ス タ は 、 い わ ば 接 合 ト ラ ン ジ ス タ が 生 ま れ る ま で の 『 触 媒 』 の 作 用 を 果 し て 生 命 を 終 え た の で あ る 。

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く つ か の 試 み が 出 さ れ た が 、 は じ め の う ち は 正 し い も の と は い え な い の が 多 か っ た 。 一 九 三 八 年 を 過 ぎ る と 、 セ レ ン 整 流 器 や 、 亜 酸 化 銅 整 流 器 に つ い て は か な り よ く 現 象 を 説 明 で き る 理 論 が で き て 来 た 。 し か し 、 こ れ と て も 、 整 流 器 工 業 に す ぐ 生 か さ れ る 様 な も の と い う よ り 、 も っ と ア カ デ ミ ッ ク な 色 彩 が 強 か っ た 。 こ れ ら の 整 流 の 理 論 が 、 英 国 や ド イ ツ で 生 ま れ 育 っ た も の で あ る 事 も 、 こ う い う 性 格 の 一 つ の 原 因 だ っ た と い え る だ ろ う 。 さ て 、 そ こ に マ イ ク ロ 波 工 学 の 進 歩 と 、 レ ー ダ ー な ど 応 用 面 か ら の 強 い 要 求 に よ っ て 、 鉱 石 検 波 器 の 改 良 の 必 要 が 生 ま れ た 。 国 防 上 の コ ン ト ラ ク ト 研 究 ( と よ ば れ た ) も 組 織 さ れ た 。 こ の 大 き な 規 模 の 研 究 に 、 二 つ の 流 れ が あ っ た 。 一 つ は ベ ル 電 話 研 究 所 な ど 、 大 会 社 の 付 属 研 究 所 で 、 こ う い っ た と こ ろ で は 、 結 品 を 加 工 し た り 、 純 化 処 理 を し た り す る や り 方 で 技 術 面 の 進 歩 に 寄 与 す る 仕 事 が 開 拓 さ れ て 行 っ た 。 当 然 沢 山 の 技 術 者 達 を う ま く コ ン ト ロ ー ル 明 夜 し て 力 を 結 集 し 、 金 を 効 果 的 に つ ぎ こ ん で 、 飛 躍 的 な 技 術 の 進 歩 を 得 よ う と い う 活 発 な 仕 事 が ス 多 か っ た 。 も う 一 つ は 、 同 じ く こ の コ ン ト ラ ク ト に 乗 っ た 大 学 の 教 授 達 で あ る 。 か の 有 名 な ハ ン ス ・ べ ー テ ( 原 子 物 理 学 ) や 、 ワ イ ス コ ッ プ フ ( 同 上 ) な ど 、 半 導 体 と は 一 寸 縁 の 無 さ そ う な 教 授 達 ク レ ま で が 、 鉱 石 検 波 器 の 電 気 的 な 特 性 を 理 論 的 に 扱 う 様 な 仕 事 を か な り や っ て い た の も こ の 頃 の 代 こ と で あ る 。 こ の 後 者 の 中 に 、 イ ン デ ィ ア ナ に あ る パ デ ュ (Purdue) 大 学 の べ ン ザ ー が い た 。 こ の 人 1 の

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å 4 エ レ ク ト ロ ニ ク ス 時 代 の 開 化 ろ な 研 究 が つ み 重 ね ら れ た 。 そ の 段 階 で 、 か な り 純 物 理 学 的 な 研 究 も 行 な わ れ た 。 ま た 、 化 学 者 も 表 面 化 学 の 新 し い 課 題 と し て 、 酸 化 膜 が ど の 様 に し て 成 長 す る か と い う 問 題 と 取 り 組 ん だ の で あ る 。 『 シ リ コ ン 表 面 の 酸 化 膜 』 性 こ れ は 大 き な 、 そ し て 重 要 な 課 題 で あ っ た 。 こ れ を う ち 特 ト ラ 本 当 に 手 の 中 に 入 れ た と こ ろ に 、 。 フ レ ー ナ ー と ン ジ ス タ の 成 功 が も た ら さ れ た 。 米 国 で こ れ を 第 一 違 に 、 最 も 確 実 に 成 し と げ た の は フ = ア チ ャ イ ル ド 社 度 で あ っ た 。 フ 、 ア チ ャ イ ル ド 社 は 大 き な 会 社 で は な ー ・ ト ラ ン ジ ス タ し か も 、 こ の 数 年 、 。 フ レ ー ナ の る と 、 後 に 述 べ る 集 積 回 路 と で 、 他 の 大 メ ー カ 1 に す 一 出 , が ら 一 歩 先 ん じ て 来 ら れ た の は 、 全 く 、 酸 化 膜 技 術 に △ い ( 違 一 日 の 長 が あ っ た た め で あ る 。 準 し あ る 米 国 の 大 メ 1 カ ー は 、 酸 化 膜 技 術 を 甘 く 見 て 表 に ひ ど い 苦 杯 を な め ね ば な ら な か っ た 。 こ れ は 当 事 者 の 周 辺 に い る 技 術 者 達 か ら き い た の だ が 、 か な り 大 図 き な 投 資 が 無 駄 に な る 結 果 を 招 き 、 仕 方 な く 技 術 開 第 1 ヴ . ア イ 、 ザ ー 発 部 の 整 理 や 、 数 人 の 無 能 な ス ー シ リ コ ン 酉 イ 層 、 ン リ コ ン 酸 化 層 △ 表 面 △ △ 表 面 △ △ (b)